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PSS晶圓自動(dòng)上片機(jī)FST-SC100P-A

應(yīng)用于LED半導(dǎo)體PSS制程薄膜段，完成ICP工藝設(shè)備之前PSS倒片上片及鎖螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲(chǔ)、cassette立體倉儲(chǔ)、OCR讀取、機(jī)器人自動(dòng)上片、機(jī)器人自動(dòng)鎖螺絲組成。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍
850盤/天
產(chǎn)品良率≧99.5%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.15mm，±0.2度以內(nèi)
設(shè)備尺寸L3m*W2.7m**H2.45m



設(shè)備優(yōu)勢

使用場景：PSS段ICP工藝生產(chǎn)前

全自動(dòng)：高度智能信息化系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、自動(dòng)鎖螺絲、盤自動(dòng)下料、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES.

高配置：CCD自動(dòng)檢測、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測系統(tǒng).

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.15mm，±0.2度以內(nèi).

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程.

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